|
Определение состава технологических газовых смесей или остаточных газов в вакуумных установках необходимо для контроля процессов в биотехнологии, при разработке и производстве топливных элементов, в электронной промышленности, в промышленности сверхчистых веществ и газов, в химических технологиях и других приложениях.
|
|
|
Мы предлагаем поточные многоточечные масс-спектрометрические анализаторы, позволяющие с минимальным временем отклика контролировать состав газов в промышленных и лабораторных условиях.
|
|
Анализаторы Dymaxion / LC Series
 |
Одноточечные многокомпонентные анализаторы состава остаточных газов и примесей в защитных, инертных и сверхчистых газах, а также в атмосфере вакуумных установок
| Диапазон измерения по массам |
1
100 а.е.м. стандартно,
1
200 а.е.м. и 1
300 а.е.м. опционно
|
| Минимально детектируемое парциальное давление |
5 × 10-12 торр для ловушки Фарадея
5 × 10-14 торр для электронного умножителя
|
|
|
|
Анализаторы ProLine / ProMaxion
 |
Промышленные масс-спектрометрические многоточечные анализаторы
| Диапазоны измерения |
по массам |
по концентрации |
1
100 а.е.м. стандартно,
1
200 а.е.м. и 1
300 а.е.м. опционно
|
1 ppm
100%,
в зависимости от типа детектора
|
| Относительная погрешность |
не более 0,5% для аргона в воздухе
|
| Число анализируемых потоков |
8 стандартно; 16, 32 или 48 опционно
|
|
Возможно взрывозащищенное исполнение EEx pd[ib] IIB+H2 T3
|
|
|